[发明专利]防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的防尘薄膜组件

摘要

提供一种不易发生污染防尘薄膜和光掩模的外部气体，同时具有耐高温的耐热性的防尘薄膜组件用接着剂以及使用其的EUV用防尘薄膜组件。本发明的接着剂，为将防尘薄膜11贴附于防尘薄膜组件框架12的低外部气体性的防尘薄膜组件用接着剂13。这种接着剂13的特征为其为硅酮系接着剂，而且外部气体量用ASTM＿E595－93的实验方法测定时，满足TML为1.0％以下，CVCM为0.1％以下的条件。另外，本发明的防尘薄膜组件，为在EUV曝光时，被暴露于100℃～200℃的温度的EUV用防尘薄膜组件，其防尘薄膜11通过满足上述条件且具有耐100℃～200℃的温度的接着剂贴附于防尘薄膜组件框架12。

主权项

1.一种低外部气体性的EUV用防尘薄膜组件用接着剂，其为将防尘薄膜贴附于防尘薄膜组件框架的低外部气体性的EUV用防尘薄膜组件用接着剂，其特征在于，所述接着剂为二液室温硬化型硅酮系接着剂，所述接着剂的外部气体量为，在ASTM_E595－93的实验方法中，满足TML为1.0％以下，CVCM为0.1％以下的条件，在此，TML指重量减少值；CVCM指再凝集物质量比。