[发明专利]软模制造方法、制造液晶显示装置的方法和软刻印法工序

摘要

软模制造方法、制造液晶显示装置的方法和软刻印法工序。公开了一种母模，其包括：主体；形成在主体上的预定图案；以及在主体的表面上的疏水基，其中，该疏水基是通过等离子处理形成在所述主体的表面和所述预定图案的表面上的。

主权项

1.一种用于制造液晶显示装置的方法，所述方法包括以下步骤：形成薄膜晶体管阵列基板；形成滤色器基板；接合所述薄膜晶体管阵列基板和所述滤色器基板；以及在所述薄膜晶体管阵列基板与所述滤色器基板之间施加液晶，其中，形成薄膜晶体管阵列基板的步骤和形成滤色器基板的步骤中的至少一个步骤包括利用软模形成图案的工序，其中，利用软模形成图案的工序包括：在主体上层叠材料层；对所述材料层进行构图，以形成预定图案；将疏水基施加到所述主体的表面和所述预定图案的表面上，以获得母模；在所述母模上淀积预聚合物；使所述预聚合物硬化；从所述母模分离硬化的预聚合物以形成软膜；在基板上形成缓冲层；使所述软模和所述缓冲层接触；向所述软模和所述缓冲层施加热；从其上已形成有所述缓冲层的基板分离所述软模，由此形成缓冲层图案；以及使用所述缓冲层图案作为掩模来对所述基板进行构图。