[发明专利]半导体器件阵列的参数确定方法和装置有效
| 申请号： | 201510154658.2 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN106156381B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 孙霖;陆婷婷;姜炜阳;朱峰;胡志中;黄慕真 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件阵列的参数确定方法和装置，其中，该方法包括：获取对多个规模的阵列的物理参数进行采样后得到的采样结果；对于每个规模的阵列，根据该阵列的采样结果和该阵列的规模确定用于表示该阵列的采样结果与规模之间关系的关系参数；对多个规模的阵列的关系参数进行调整，得到适应多个规模的阵列关系参数作为全局关系参数。本发明通过确定电路布局中器件参数随着单元阵列的规模而变化的关系，能够在不对电路布局进行复杂的分析和提取的情况下，客观地确定电路布局的参数，有效减少了工作量，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件 阵列 参数 确定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件阵列的参数确定方法，其特征在于，包括：获取对多个规模的阵列的物理参数进行采样后得到的采样结果；对于每个规模的阵列，根据该阵列的采样结果和该阵列的规模确定用于表示该阵列的采样结果与规模之间关系的关系参数；对所述多个规模的阵列的关系参数进行调整，得到适应所述多个规模的阵列关系参数作为全局关系参数；其中，每个阵列的关系参数通过系数矩阵来表示；其中，对所述多个规模的阵列的关系参数进行调整包括：对所述多个阵列的系数矩阵进行调整，使得调整后的所述系数矩阵能够正确表示所述多个阵列中各个阵列的采样结果与规模之间的关系，并将该调整后的所述系数矩阵确定为全局关系参数。
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