[发明专利]一种显影设备及显影方法有效
| 申请号： | 201510154683.0 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104714376B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 马骏;黄寅虎;韩俊号;韩领 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影设备及显影方法，所述显影设备的显影区设置有信号处理系统、移动风干系统以及多个传感器，所述显影设备中的信号处理系统能够根据多个传感器生成的与正在显影的基板相关的位置感应信息，确定所述基板是否在显影区停留，并在确定所述基板在显影区停留且确定所述基板的显影时长到达设定的显影时长时，控制移动风干系统对所述基板上的显影液进行去除，从而避免了由于基板在显影单元出现停留而导致的基板上的光刻胶过度显影的问题，提高了基板产品质量、缩短了工艺周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影设备，其特征在于，所述显影设备的显影区中设置有信号处理系统、移动风干系统以及多个传感器；所述多个传感器，用于生成与正在显影的基板相关的位置感应信息；所述信号处理系统，用于根据所述多个传感器生成的与所述基板相关的位置感应信息确定所述基板是否在显影区停留；若是，则在确定所述基板的显影时长到达设定的显影时长时，控制所述移动风干系统启动；所述移动风干系统，用于根据所述信号处理系统的控制去除所述基板上的显影液。
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