[发明专利]传感器装置在审
| 申请号： | 201510154948.7 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104792829A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 朴寅吉;卢泰亨;朴城撤;权起范;李昇桓;郑俊镐 | 申请（专利权）人： | 英诺晶片科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道安山市*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明揭示一种传感器装置。该传感器装置包含：垂直堆叠的多个衬底；多个加热器，其形成于至少一个所选衬底上且在水平方向上彼此分开；多个感测电极，其在至少一个所选衬底的形成有所述多个加热器的顶部部分上形成于所述衬底上且在所述水平方向上分开；以及多种感测材料，其经配置以分别接触所述多个感测电极且彼此分开地形成。因此，可同时检测多种不同气体，且可改善气体传感器的可用性。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 装置 | ||
【主权项】：
一种传感器装置，其特征在于包括：垂直堆叠的多个衬底；多个加热器，其形成于至少一个所选衬底上且在水平方向上彼此分开；多个感测电极，其在至少一个所选衬底的形成有所述多个加热器的顶部部分上形成于所述衬底上且在所述水平方向上分开；以及多种感测材料，其经配置以分别接触所述多个感测电极且彼此分开地形成。
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