[发明专利]半导体静电放电保护元件有效
申请号: | 201510156061.1 | 申请日: | 2015-04-03 |
公开(公告)号: | CN106158833B | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 黄崇佑;苏冠丞;唐天浩;张秉真 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/60 | 分类号: | H01L23/60;H01L29/78 |
代理公司: | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陈小雯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;TW |
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摘要: | 本发明公开一种半导体静电放电保护元件,包含有一基底、一设置于该基底上的栅极组、分别设置于该栅极组两侧的该基底内的一源极区域与一漏极区域、至少一设置于该漏极区域内的第一掺杂区域、以及至少一设置于该基底内的第二掺杂区域。该源极区域与该漏极区域包含有一第一导电型态,而该第一掺杂区域与该第二掺杂区域则包含有一第二导电型态,且该第二导电型态与该第一导电型态互补。该第二掺杂区域与该第一掺杂区域彼此电连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 静电 放电 保护 元件 | ||
【主权项】:
1.一种半导体静电放电(electrostatic discharge protection,ESD)保护元件,包含有:/n基底;/n栅极组(gate set),设置于该基底上;/n源极区域与漏极区域,分别设置于该栅极组两侧的该基底内,且该源极区域与该漏极区域包含有一第一导电型态(conductivity type);/n至少一第一掺杂区域,设置于该漏极区域内,该第一掺杂区域包含有一第二导电型态,且该第二导电型态与该第一导电型态互补(complementary);/n至少一第二掺杂区域,设置于该源极区域内,该第二掺杂区域包含有该第二导电型态,且该第二掺杂区域与该第一掺杂区域彼此电连接;/n第一阻挡结构,包围该第一掺杂区域以隔离该第一掺杂区域与该漏极区域;以及/n第二阻挡结构,包围该第二掺杂区域以隔离该第二掺杂区域。/n
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