[发明专利]灵敏度检查系统和灵敏度检查方法

摘要

灵敏度检查系统2000是检查静电电容传感器10的灵敏度的系统，该静电电容传感器10检测多个方向的每一个的加速度。输出获取单元2020基于来自倾斜地进入检查状态的静电电容传感器10的第一和第二方向的每一个的电容来获取输出。第一转换单元2040和第二转换单元2060的每一个通过使用基于当参考加速度被施加时的电容的值的静电电容传感器10的输出的理论值与基于当在检查状态中施加加速度时的电容的值的静电电容传感器10的输出的理论值之间的比值，将在第一和第二方向中的自身一个方向的静电电容传感器10的输出的值转换为经转换输出的值，该经转换输出的值等于当施加了参考加速度时的输出的值。此举减少了用于调节静电电容传感器10的灵敏度所需的成本。

主权项

一种灵敏度检查系统，用于检查静电电容传感器的灵敏度，包括：传感器单元，包括可移动电极、至少一个第一固定电极、以及第二固定电极，所述至少一个第一固定电极排布成从被视为与所述可移动电极相对的方向的第一方向与所述可移动电极相对，且所述第二固定电极排布成从包括在一平面内的第二方向与所述可移动电极相对，其中所述平面的方向不同于包括所述第一方向的平面的方向；检测单元，检测所述可移动电极和所述第一固定电极之间的第一电容以及所述可移动电极和所述第二固定电极之间的第二电容；和修正单元，用于修正由所述检测单元检测到的检测结果且输出经修正的结果，所述灵敏度检查系统包括：输出获取单元，用于从倾斜地进入检查状态的所述静电电容传感器获取第一输出和第二输出，其中所述第一输出的值是基于所述第一电容的值，且所述第二输出的值是基于所述第二电容的值；第一转换单元，用于通过将所述第一输出的值乘以第一比值来将所述第一输出转换为第一经转换输出，其中所述第一经转换输出的值等于当所述第一方向的第一参考加速度被施加到了所述静电电容传感器时的输出的值，其中所述第一比值是基于当作为具有规定值的第一方向的加速度的第一参考加速度被作为用于检查的参考加速度进行了施加时的所述第一电容的值的所述静电电容传感器的输出的理论值与基于当在所述检查状态中施加所述第一方向的加速度时的所述第一电容的值的所述静电电容传感器的输出的理论值之间的比值；和第二转换单元，用于通过将所述第二输出的值乘以第二比值来将所述第二输出转换为第二经转换输出，其中所述第二经转换输出的值等于当所述第二方向的第二参考加速度被施加到了所述静电电容传感器时的输出的值，其中所述第二比值是基于当作为具有规定值的第二方向的加速度的第二参考加速度被作为用于检查的参考加速度进行了施加时的所述第二电容的值的所述静电电容传感器的输出的理论值与基于当在所述检查状态中施加所述第二方向的加速度时的所述第二电容的值的所述静电电容传感器的输出的理论值之间的比值。