[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示设备在审
| 申请号： | 201510159095.6 | 申请日： | 2015-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN104716201A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 邹志翔;操彬彬;黄寅虎 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 任嘉文 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板、显示设备，用以减缓甚至避免薄膜晶体管的制作过程出现的栅极线鼓包的问题，使得栅极线的电阻均匀，进而使得显示器显示均匀，提高显示器的显示品质。所述方法包括：在衬底基板上形成栅极线；对形成有栅极线的衬底基板进行用于减缓栅极线鼓包的处理，并在处理后的衬底基板上形成栅绝缘层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制作方法 阵列 显示 设备 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，该方法包括：在衬底基板上形成栅极线；对形成有栅极线的衬底基板进行用于减缓栅极线鼓包的处理，并在处理后的衬底基板上形成栅绝缘层。
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