[发明专利]照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法有效
| 申请号： | 201510160096.2 | 申请日： | 2015-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106154756B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 刘恩铨;童宇诚 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。该照明系统包括用于产生一光线的一光源以及一不透明板。不透明板设置于光源以及一光掩模之间，且不透明板包括一环形开口以及一双极开口。环形开口具有一内侧边以及一外侧边。双极开口包括至少一第一开口以及至少一第二开口，其中第一开口与第二开口分别与环形开口相连接，并分别从环形开口的外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于环形开口的一中心点设置。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 系统 以及 使用 形成 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种照明系统，包括：光源，用于产生一光线；以及不透明板，设置于该光源以及一光掩模之间，且该不透明板包括：环形开口，具有内侧边以及外侧边；以及第一双极开口，包括至少一第一开口以及至少一第二开口，其中该第一开口与该第二开口分别与该环形开口相连接，并分别从该环形开口的该外侧边延伸出，且该第一开口与该第二开口对称于该环形开口的一中心点设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联华电子股份有限公司，未经联华电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510160096.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
