[发明专利]一种LCoS微显示驱动面板制备工艺在审
| 申请号： | 201510161388.8 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN106154595A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 杜寰 | 申请（专利权）人： | 杜寰 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G09G3/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100086 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LCoS微显示驱动面板制备工艺，其包括：硅衬底及集成电路器件制备；PECVD(等离子增强化学气相淀积)方法生长介质；CMP(化学机械抛光)；铝布线步骤；刻通孔；溅射Ti/TiN和钨，反刻钨，形成钨塞；制备镜面反射电极；制备薄盒，灌装液晶；优选地，所述镜面反射电极采用ITO来制作。本发明的方法用ITO代替铝制备镜面反射电极，提高了镜面反射电极反射率和抗氧化性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lcos 显示 驱动 面板 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种LCoS微显示驱动面板制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：——硅衬底及集成电路器件制备；——PECVD(等离子增强化学气相淀积)方法生长介质；——CMP(化学机械抛光)；——铝布线步骤；——刻通孔；——溅射Ti/TiN和钨，反刻钨，形成钨塞；——制备镜面反射电极；——制备薄盒，灌装液晶，所述镜面反射电极采用ITO来制作。
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