[发明专利]用于压力传感器的力反馈环路

摘要

用于压力传感器的力反馈环路。压力传感器系统包括力反馈环路。力反馈环路被配置成接收测量压力传感器信号并基于测量压力和静电力而生成反馈信号。基于反馈信号而生成静电力并将其与测量力组合，保持所得到的传感器信号稳定。

主权项

一种压力传感器系统，包括：压力传感器，被配置成测量由压力引起的力，并基于测量压力和静电力而生成传感器信号；以及力反馈环路，被配置成接收传感器信号并基于传感器信号而生成输出信号和反馈信号；其中，利用反馈信号而在压力传感器上生成静电力，其中，除压力之外，还在压力传感器上施加静电力；其中压力传感器是电容传感器，并且被配置来生成与传感器信号相关的整体电容，其中整体电容由静电力和测量压力施加到压力传感器上的整体力引起，其中整体电容等于或大于由施加到压力传感器上的最大测量压力引起的电容；其中反馈信号或输出信号被转换成偏压，以提供要与测量电荷相比较的目标电荷。