[发明专利]接触型电路图案检查装置及其检查方法有效
申请号: | 201510161578.X | 申请日: | 2015-03-03 |
公开(公告)号: | CN104898010B | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 目崎正胜;片桐英树 | 申请(专利权)人: | OHT株式会社 |
主分类号: | G01R31/02 | 分类号: | G01R31/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 胡金珑 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种能够有效地进行多个印刷电路板单片的拍摄和检查的接触型电路图案检查装置和方法。用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板的接触型电路图案检查装置,其包括设置有照相机单元和检查部的探针单元。每个单片上具有位置对准特征点,照相机单元拍摄位置对准特征点,检查部与单片接触以检查单片的导电图案。该装置进一步地包括使探针单元移动的移动机构、和计算拍摄以及检查时探针单元的最小移动路径的运算部。最小移动路径是通过对多个单片内的1个单片,采用在拍摄该单片上的所有位置对准特征点之后进行该单片的检查的条件,且对所有的多个单片采用该条件而计算得到的。 | ||
搜索关键词: | 接触 电路 图案 检查 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种接触型电路图案检查装置,用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板,在每个所述多个印刷电路板单片上设置具有多个触点的导电图案和至少一个位置对准特征点,其特征在于,该接触型电路图案检查装置包括:探针单元,其上设置有拍摄所述印刷电路板单片上的所述位置对准特征点的照相机单元、和通过与所述印刷电路板单片的所述触点接触而提供检查信号来检查所述导电图案的检查部;移动机构,使所述探针单元移动;以及运算部,计算在由所述照相机单元进行所述位置对准特征点的拍摄和由所述检查部进行检查时的所述探针单元的最小移动路径,所述最小移动路径是通过对所述多个印刷电路板单片内的1个印刷电路板单片,采用在拍摄所述1个印刷电路板单片上的所有位置对准特征点之后进行所述1个印刷电路板单片的检查的条件,且对所有的所述多个印刷电路板单片采用所述条件而计算得到的。
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