[发明专利]一种光纤内制备三维微流通道与微腔的方法无效
| 申请号： | 201510162501.4 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN104722924A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 曲士良;刘一;李敏;李岩 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学（威海） |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所 37202 | 代理人： | 王元生 |
| 地址： | 264200 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其首先将光纤固定在微型水浴装置中；而后将载有光纤的微型水浴装置放置在由计算机控制的三维精密移动平台上；飞秒激光通过光学聚焦系统聚焦到光纤正下方的水中，飞秒激光脉冲与水相互作用诱导产生空化空蚀现象对光纤材料产生空腔刻蚀，并将水引入光纤内部；通过计算机控制三维精密移动平台运动，使得飞秒激光脉冲焦点在光纤内进行扫描刻蚀，刻蚀掉的光纤材料随水流排出，在光纤纤芯或包层中制备得到三维微流通道与微腔。本发明制备方法简单、效率高、重复性好，能有效地排出光纤中激光烧蚀产生的粉末，三维微流通道与微腔的尺寸、位置和形状能够得到有效控制。在光纤微流体器件与光纤传感领域具有重要应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 制备 三维 流通 方法 | ||
【主权项】：
一种光纤内制备三维微流通道与微腔的方法，其特征在于：其包括如下步骤：(1) 将光纤固定在微型水浴装置中；(2) 将载有光纤的微型水浴装置放置在由计算机控制的三维精密移动平台上；(3) 飞秒激光通过光学聚焦系统聚焦到光纤正下方的水中，飞秒激光脉冲与水相互作用诱导产生空化空蚀现象对光纤材料产生空腔刻蚀，并将水引入光纤内部；(4) 通过计算机控制三维精密移动平台运动，使得飞秒激光脉冲焦点在光纤内进行扫描刻蚀，刻蚀掉的光纤材料随水流排出，在光纤纤芯或包层中制备得到三维微流通道与微腔。
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