[发明专利]一种金属钼基微继电器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510163239.5 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN106158512A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 徐纯纯;陈兢;张轶铭;宋璐;陈献 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01H50/00 | 分类号： | H01H50/00;H01H59/00;H01H49/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属钼基微继电器及其制备方法。该金属钼基微继电器，包括作为弹性回复结构的单端固支悬臂梁，连接该单端固支悬臂梁的静电驱动梳齿结构，以及靠近该单端固支悬臂梁一端的触头，所述单端固支悬臂梁、梳齿结构和触头的材料为金属钼。本发明首次以金属钼作为体材料设计静电驱动微继电器，不仅能很好的解决接触电阻问题，还可以减小系统失效。金属钼基微继电器具有很高的可靠性，可广泛应用于消费类电子、医疗保健、汽车工业、工业自动化及机器人、航空航天、以及物联网领域等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 钼基微 继电器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属钼基微继电器，其特征在于，包括作为弹性回复结构的单端固支悬臂梁，连接该单端固支悬臂梁的静电驱动梳齿结构，以及靠近该单端固支悬臂梁一端的触头，所述单端固支悬臂梁、梳齿结构和触头的材料为金属钼。
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