[发明专利]一种宽频吸波器的结构与制备方法在审
| 申请号： | 201510163603.8 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN104779447A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 肖淑敏;刘佳;宋清海 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | H01Q17/00 | 分类号： | H01Q17/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 张立娟 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种宽频吸波器的结构与制备方法，该结构包括基底层，设置在基底层上的半金字塔结构，所述半金字塔为多层金属-介质层交替叠加组合而成，且结构的尺寸在Z方向上由下往上呈梯度递减，该结构为对称结构，对称轴为金属-介质层的中心的连线。采用镀膜的方式在基底上依次镀金属-介质层，然后刻蚀出金字塔结构。结构简单：该吸波器的结构单一，便于制备。光谱容易测量：在测量阶段，8-14μm为中红外波段，根据现有设备，很容易得到该结构的透射和反射光谱，从而得到吸收谱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽频 吸波器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种宽频吸波器的结构，其特征在于：该结构包括基底层，设置在基底层上的半金字塔结构，所述半金字塔为多层金属‑介质层交替叠加组合而成，且结构的尺寸在Z方向上由下往上呈梯度递减，该结构为对称结构，对称轴为金属‑介质层的中心的连线。
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