[发明专利]具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置有效

专利信息
申请号: 201510165417.8 申请日: 2015-04-09
公开(公告)号: CN104773723B 公开(公告)日: 2017-11-24
发明(设计)人: 何军;李家贵;陆曼婵;张培;陆钊;李超建;杨彤;陆家源;陆曼莎;陆宇秋;刘春玲 申请(专利权)人: 玉林师范学院
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 广西南宁公平知识产权代理有限公司45104 代理人: 杨立华
地址: 537000 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开了一种具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置,主要由进气导管、进气流控制器和输气管组成,每条进气导管都有进气流控制器,进气流控制器安装在进气导管上部,进气流控制器上部与输气管连接。该装置配合球形炉体使用,由于进气导管与球形炉体中心垂直线之间存在微小的夹角,使气流进入时形成微旋转的状态,在进气流控制器控制下,形成从球形炉体上端垂直流入直达基底材料表面的带有轻微旋转的气体气相路线,轻微旋转的气流加强了基底材料表面的气相动力学的均衡,消除了基底材料上不均衡的边界层,实现了石墨烯化学气相法制备的气相动力学控制和平衡,使碳源气体混合物均衡地与基底材料反应生长出高质量石墨烯。
搜索关键词: 有气 动力学 控制 石墨 化学 法制 通道 装置
【主权项】:
一种具有气相动力学控制的石墨烯化学气相法制备炉的多通道进气装置,其特征在于主要由进气导管、进气流控制器和输气管组成;所述进气导管有多条,每条进气导管都有进气流控制器,进气流控制器安装在进气导管上部,进气流控制器上部与输气管连接;所述石墨烯化学气相法制备炉主要由炉体及其进气口和出气口组成,所述炉体为球形炉体,球形炉体采用圆球形状,炉体中的炉膛采用弧形结构;所述进气口和出气口轴向呈90度角,进气口垂直设置在球形炉体顶端;所述进气口采用大口径多路进气导管设计,进气口直径为球形炉体直径的1/2。
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