[发明专利]一种数字化控制的MEMS可调光衰减器及控制方法有效
| 申请号： | 201510166519.1 | 申请日： | 2015-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN104760921A | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;徐静;江火秀 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B3/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种数字化控制的MEMS可调光衰减器及控制方法，所述的MEMS可调光衰减器包括N面可独立驱动的扭转微镜阵列，每面扭转微镜只有两个扭转角度状态，通过控制每面微镜的扭转角度状态实现输入光信号衰减量的数字化控制，其中，9≤N≤50。本发明具有以下有益效果：1）采用数字化二进制电压控制，实现了MEMS光衰减器高精度的衰减量控制；2）无需采用反馈控制，可以有效抑制静电驱动MEMS光衰减器的“慢漂移”，大幅度降高精度光衰减器的成本和体积；3）可以有效抑制MEMS光衰减器的温度相关插入损耗，大幅度降低器件的温度影响；4）数字化控制的高精度MEMS光衰减器将大幅降低可调光衰减器仪表的成本和体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数字化 控制 mems 调光 衰减器 方法 | ||
【主权项】：
一种数字化控制的MEMS可调光衰减器，其特征在于，所述的MEMS可调光衰减器包括N面可独立驱动的扭转微镜阵列，每面扭转微镜只有两个扭转角度状态，通过控制每面微镜的扭转角度状态实现输入光信号衰减量的数字化控制，其中，9≤N≤50。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新微技术研发中心有限公司，未经上海新微技术研发中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510166519.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
