[发明专利]双层TiO2/Au多孔结构催化剂及其制备方法有效
申请号: | 201510167744.7 | 申请日: | 2015-04-09 |
公开(公告)号: | CN104826625B | 公开(公告)日: | 2017-02-01 |
发明(设计)人: | 陈爱英;石珊珊;王靖雯;潘登 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | B01J23/52 | 分类号: | B01J23/52 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所31259 | 代理人: | 脱颖 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种双层TiO2/Au多孔结构催化剂及其制备方法。所述的双层多孔结构是以纳米多孔金(NPG)为基体,利用磁控溅射的方法在其表面溅射TiO2薄膜。其具体工艺步骤为将NPG薄膜置于导电玻璃上,将其放入真空室,采用高纯钛为靶材,调节O2分压为0.1‑1.5×10‑3Pa,溅射功率20‑50W,基底温度为23℃,偏压0~‑300mV。采用直流溅射进行薄膜沉积,沉积时间为5~300s,溅射的TiO2薄膜厚度为2‑20纳米。即得具有良好热稳定性的内层Au和外层TiO2为特征的双层多孔结构耐高温催化剂。 | ||
搜索关键词: | 双层 tio2 au 多孔 结构 催化剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种制备双层TiO2/Au多孔结构催化剂的方法,包括步骤:采用纳米多孔金薄膜为基体,利用直流磁控溅射方法在多孔金表面镀一层TiO2,制备出双连续多孔结构催化剂;直流磁控溅射的条件为:以金属钛为靶材,O2分压为0.1‑1.5×10‑3Pa,溅射功率为20‑50W,偏压为0~‑300mV,溅射时间为5~300s;还包括热处理步骤:对直流磁控溅射后的样品进行热处理,热处理温度为100‑600℃,热处理时间为5分钟至5小时;所制备的多孔结构催化剂内层为Au纳米多孔金,外层TiO2薄膜为非晶态和/或纳米晶态,纳米晶TiO2的晶粒尺寸为2~5nm,外层TiO2薄膜厚度为2~15nm。
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