[发明专利]一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法

摘要

一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法，其主要包括清洗基底、放置基底、涂胶、静置、匀胶、二次涂胶、二次匀胶、第N次涂胶、第N次匀胶、静置48小时以上、烤胶、揭胶等步骤。本发明方法可用于制备口径≤300mm、面形精度PV<0.5μm、膜层厚度可控的多台阶或连续台阶透明膜基衍射光学元件，解决制备过程中面形精度低、膜层厚度不可控、透明膜基衍射光学元件衍射效率低的问题。

主权项

一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法，其特征在于包括如下步骤：(1)制备带衍射条纹的基底，并对带衍射条纹的基底进行清洗，去除带衍射条纹的基底表面上的油脂和灰尘；(2)放置基底，将带衍射条纹的基底正中放置在水平的旋转平台上，并确保带衍射条纹的基底中心与旋转平台的中心重合；(3)在真空环境下，利用量杯或者滴管将透明液态聚酰亚胺缓慢滴涂在带衍射条纹的基底正中央，使透明液态聚酰亚胺在黏滞力的作用下自由向四周流动，待透明液态聚酰亚胺布满整个带衍射条纹的基底时，停止滴涂；(4)将布满透明液态聚酰亚胺的带衍射条纹的基底静置十至二十分钟，去除带衍射条纹的基底中央透明液态聚酰亚胺与四周透明液态聚酰亚胺之间的内压差；(5)转动旋转平台，使得透明液态聚酰亚胺在离心力的作用下在带衍射条纹的基底表面趋于平整；(6)采用步骤(3)的滴涂方法，在带衍射条纹的基底表面上再次进行涂胶，然后采用步骤(5)的方法使得再次涂胶后的带衍射条纹的基底表面趋于平整；(7)根据所要求的光学元件用透明衍射薄膜的厚度，重复步骤(6)N次，N为正整数，直至带衍射条纹的基底上的聚酰亚胺的厚度满足要求；(8)将步骤(7)得到的带衍射条纹的基底静置48小时以上；(9)将步骤(8)得到的带衍射条纹的基底放入烤胶机中，且涂覆有透明液态聚酰亚胺的表面朝上，烘烤至透明液态聚酰亚胺完全凝固后，关闭烤胶机电源，使带衍射条纹的基底自然冷却至环境温度；(10)利用片状硬物将透明聚酰亚胺膜四周与带衍射条纹的基底分离。