[发明专利]一种蒸镀装置

摘要

本发明提供一种蒸镀装置，用于解决现有技术的蒸镀装置需要单独设立传送腔室，并且每次蒸镀需要重新对各蒸发腔室进行抽真空、设备复杂、传送和抽真空时间长等问题。本发明提供的蒸镀装置包括多个蒸镀子腔室，将待蒸镀基板在多个蒸镀子腔室移动完成各层镀蒸，节省待蒸镀基板的传送时间，且将蒸镀腔室维持在同一真空环境下，各蒸镀子腔室不用重新抽真空，节省抽真空时间。

主权项

一种蒸镀装置，包括用于蒸镀待蒸镀基板的蒸镀腔室，其特征在于，所述的蒸镀腔室包括：多个蒸镀子腔室，和位于相邻所述蒸镀子腔室之间能将相邻所述蒸镀子腔室隔离的隔离单元；所述各蒸镀子腔室包括位于所述蒸镀子腔室一端的蒸发源；及与所述蒸发源相对设置的承载所述待蒸镀基板在所述蒸镀子腔室之间移动的传送单元；所述传送单元包括用于吸附和移动待蒸镀基板的磁隔板；所述磁隔板能使待蒸镀基板在所述蒸镀子腔室之间移动，或在垂直于所述待蒸镀基板方向移动；所述的隔离单元靠近所述待蒸镀基板的一端具有伸缩结构，在所述待蒸镀基板移动时收缩，供所述待蒸镀基板穿过；在所述待蒸镀基板蒸镀时伸展，将所述蒸镀子腔室隔离；所述伸缩结构包括能在垂直于所述待蒸镀基板的移动方向上相互移动的两个隔板；所述蒸镀子腔室包括能遮挡所述蒸发源的遮挡单元；所述遮挡单元包括连接轴和分别与所述连接轴两端枢转连接的固定板和挡板；所述固定板与所述蒸镀子腔室的一侧的隔板连接，所述挡板能通过枢转遮挡所述蒸发源。