[发明专利]一种用于ITO/Ag/ITO薄膜的低张力的蚀刻液有效
| 申请号： | 201510169664.5 | 申请日： | 2015-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN104893728B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 康威;梁作;赵大成;陈昊 | 申请（专利权）人： | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06 |
| 代理公司： | 深圳卓正专利代理事务所(普通合伙) 44388 | 代理人： | 王平 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于ITO/Ag/ITO多层薄膜的低张力的蚀刻液，该蚀刻液由总重量10％～30％的醋酸、1％～20％的硝酸、40％～70％的磷酸、0.1～0.5％的表面活性剂和0.1～5％的硝酸盐组成，余量为去离子水。本申请的蚀刻液，合理调配各组分及用量，使蚀刻液表面张力低，能有效渗透、浸润到需要蚀刻部位，提高蚀刻效率，同时，提高蚀刻角度的准确性。并且，本申请的蚀刻液，能有效的对银含量超过80％的ITO/Ag/ITO进行蚀刻。本申请的蚀刻液腐蚀力相对较低，能够在温和的条件下进行蚀刻，且蚀刻后不会有残渣、线条平整、蚀刻均匀；适合用于高精度图案的ITO/Ag/ITO多层薄膜的蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ito ag 薄膜 张力 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.一种用于ITO/Ag/ITO多层薄膜的低张力的蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液由总重量10％～30％的醋酸、10.5％～20％的硝酸、40％～70％的磷酸、0.1～0.5％的表面活性剂和0.1～5％的硝酸盐组成，余量为去离子水；所述表面活性剂为聚氧乙烯。
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