[发明专利]一种用1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体作导电处理剂的SEM‑EDX检测方法有效
| 申请号： | 201510169819.5 | 申请日： | 2015-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN104792591B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 泽龙 | 申请（专利权）人： | 泽龙 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/22;G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司11471 | 代理人： | 王淑玲 |
| 地址： | 311215 浙江省杭州市经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用所述1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体作为导电处理剂的SEM‑EDX检测方法，本发明的有益效果为使用所述1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体可用作在进行SEM‑EDX检测之前，对绝缘样品进行导电处理；所进行的导电处理成本低廉、操作简单，这大大的扩大了SEM‑EDX检测的适用范围；并且本发明创造性的将SSD附加到SEM‑EDX分析装置上，在进行SEM‑EDX检测的同时，进行绝缘样品的成分分析；从而增大了检测的精度和广度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 乙基 甲基 咪唑 硼酸盐 离子 液体 导电 处理 sem edx 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种用1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体作导电处理剂的SEM‑EDX检测方法，其特征在于，包括以下步骤：a、确定被测样品的性质：确定被测样品的粒径和导电性，若被测样品绝缘且粒径大于10μm，则需要将被测样品用作为导电处理剂的1‑乙基‑3‑甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体进行导电处理，若被测样品导电或粒径小于10μm，则不需要进行导电处理；b、SEM‑EDX检测：将经导电处理过的绝缘被测样品或不需导电处理的被测样品进行SEM‑EDX检测，同时还将SSD附加到SEM‑EDX分析装置上，在进行SEM‑EDX检测的同时，进行被测样品的成分分析；测试结束后，得到二次电子图像；c、数据分析：根据步骤b中得到的二次电子图像，进行被测样品的元素组成的定性分析和定量分析。
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