[发明专利]无碳刷旋转等离子体电极结构及镀膜系统有效
| 申请号： | 201510171039.4 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106163069B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 林士钦;张家豪;林冠宇 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/505 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种无碳刷旋转等离子体电极结构及一种镀膜系统。无碳刷旋转等离子体电极结构包括本体、多个导引部以及多个导通件。本体包括多个电极部。电极部的周缘设置第一凸出部。导引部贯穿于电极部。各导通件包括第二凸出部，第一凸出部与第二凸出部具有一间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 碳刷 旋转 等离子体 电极 结构 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
1.一种无碳刷旋转等离子体电极结构，包括：本体，其绕一轴心进行转动，该本体包括多个间隔设置的电极部，各该电极部的周缘设置一第一凸出部；多个导引部，贯穿于该些电极部，以导引离子化气体通过上述电极部而形成等离子体；多个导通件，各该导通件包括第二凸出部，该第一凸出部与相对应的该第二凸出部具有第一间隔，以产生一电容；当该本体转动时，该多个导通件不与该电极部接触，以形成一高功率RF功率耦合结构而获得高电容量。
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