[发明专利]链式扩散非制绒面涂磷装置在审
申请号: | 201510171406.0 | 申请日: | 2015-04-13 |
公开(公告)号: | CN104766908A | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
发明(设计)人: | 陶龙忠;王学正;李海波;杨灼坚;张尧 | 申请(专利权)人: | 苏州润阳光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/225 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种链式扩散非制绒面涂磷装置,包括转动轴、吸液外圈和储酸槽,所述吸液外圈固定在转动轴的中间,所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方,所述储酸槽一侧设有进酸口,储酸槽的下方设有出酸口,储酸槽内还设有一液位传感器,所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。本发明充分利用了滚轮携带磷酸,并将磷酸均匀涂抹到硅片背面从而实现链式扩散非制绒面涂磷的目的,使得在扩散中实现和提高磷吸杂的作用,最终提高电池的转化效率。 | ||
搜索关键词: | 链式 扩散 非制绒面涂磷 装置 | ||
【主权项】:
一种链式扩散非制绒面涂磷装置,其特征在于:包括转动轴、吸液外圈和储酸槽,所述吸液外圈固定在转动轴的中间,所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方,所述储酸槽一侧设有进酸口,储酸槽的下方设有出酸口,储酸槽内还设有一液位传感器,所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的