[发明专利]晶圆的磊晶反应器及其中央星盘在审
| 申请号： | 201510171776.4 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106149049A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈家进;蔡明修 | 申请（专利权）人： | 聿光科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;常大军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明为一种晶圆的磊晶反应器及其中央星盘，中央星盘设于磊晶反应器的壳体的中央部位而对应于热源，中央星盘具有相分离的内环件及外环件，由于中央星盘必需经常更换清洗而容易损耗，通过分离式的设计和材料的改良，而使得外环件可采用较抗清洗的材料，且可藉由材料特性不同，改变磊晶环境，进而提升产品品质；而内环件可采用较抗热冲击的材料，以达到减少材料损耗及降低成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 反应器 及其 中央 星盘 | ||
【主权项】：
一种磊晶反应器的中央星盘，其特征在于，包括：一外环件，其中央成形有一容置孔，该外环件为陶瓷材料所制；一内环件，其能够分离地设于该外环件的容置孔中，其中该内环件中央成形有一通孔，内环件与外环件为相异材料所制。
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