[发明专利]测试探针和制造测试探针的方法有效
申请号: | 201510172275.8 | 申请日: | 2015-04-13 |
公开(公告)号: | CN104977440B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | K.K.具 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R3/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 王洪斌;胡莉莉 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及测试探针和制造测试探针的方法。提供了一种用于测试芯片封装的测试探针,其中测试探针包括包含传导材料的测试探针主体;以及布置在测试探针主体的末端上并且包括碳纳米管的探针端部。 | ||
搜索关键词: | 测试 探针 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种用于测试芯片封装的测试探针,所述测试探针包括:包含传导材料的测试探针主体;以及布置在测试探针主体的末端上并且包括碳纳米管的探针端部。
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