[发明专利]一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制系统和方法

摘要

本发明公开了一种双腔准分子激光器放电同步控制系统和方法，两个时序采集单元分别采集MO腔和PA腔的脉冲放电信号；延时测量单元根据两个时序采集单元采集的脉冲放电信号获得MO腔和PA腔之间的出光延时值；状态采集单元采集MO腔和PA腔的状态信息；主控单元根据出光延时值、延时设定值和状态采集单元采集的状态信息，执行闭环控制算法，获得放电延时的更新值，并将该值送给延时输出单元；延时输出单元接受双腔放电延时的更新值，同时触发脉冲分为对应于双腔放电延时的更新值的两个脉冲输出给两个电源和第二电源以触发放电。本发明能够消除温度漂移和腔内压强的变化对电源同步放电的影响，实现双腔放电抖动小于±5ns。

主权项

一种双腔准分子激光器放电同步控制系统，所述激光器包括MO腔和PA腔，该MO腔和PA腔分别配有第一电源和第二电源，其特征在于，所述系统包括延时测量单元(1)、主控单元(2)、延时输出单元(3)、第一时序采集单元(4a)、第二时序采集单元(4b)和状态采集单元(5)，其中，所述第一时序采集单元(4a)和第二时序采集单元(4b)分别用于采集所述MO腔和PA腔的脉冲放电信号；所述延时测量单元(1)根据所述第一时序采集单元(4a)和第二时序采集单元(4b)采集的脉冲放电信号获得所述MO腔和PA腔之间的出光延时值；所述状态采集单元(5)用于采集所述MO腔和PA腔的状态信息；所述主控单元(2)用于根据所述MO腔和PA腔之间的实际采集的出光延时值、延时设定值和状态采集单元(5)采集的所述状态信息，执行闭环控制算法，获得双腔放电延时的更新值，并将该值送给所述延时输出单元(3)；所述延时输出单元(3)用于接受所述主控单元(2)送来的所述双腔放电延时的更新值，同时把来自上位机的触发脉冲分为对应于所述双腔放电延时的更新值的两个脉冲输出给所述第一电源和第二电源以触发该二电源进行放电；所述延时输出单元(3)包括一个可编程延时模块(31)、两个固定延时模块(32)和两个脉冲触发输出模块；所述可编程延时模块(31)通过串口接收主控单元更新的延时值并输出两个更新后延时值的两个脉冲信号，然后分别将其传送到所述两个固定延时模块；所述两个固定延时模块(32)用于修正双腔系统固有的延时误差；所述两个脉冲触发输出模块(33)用于分别接收固定延时模块的脉冲输出，将电脉冲转换为光脉冲，触发第一电源和第二电源放电。