[发明专利]一种超结二极管及其制造方法

摘要

本发明公开了一种超结二极管的制造方法，包括：在硅衬底层表面形成至少包括一个交替设置的P型柱和N型柱的超结结构层，在超结结构层表面形成绝缘层；在P型柱上形成欧姆接触窗口并填充第一金属层材料，形成欧姆接触；在N型柱上形成肖特基接触窗口并填充第二金属层材料，形成肖特基接触；第一金属层与第二金属层间设置有刻蚀后的所述绝缘层。本发明通过超结结构，在P型柱上形成欧姆接触，在N型柱上形成肖特基接触，降低了器件的正向阻抗和反向漏电流，同时提高了器件的耐压性。本发明还公开了一种超结二极管，所述超结二极管改善了肖特基二极管的性能。

主权项

一种超结二极管的制造方法，其特征在于，该方法包括：在硅衬底层上依次形成超结结构层和绝缘层，所述超结结构层至少包括一个交替设置的P型柱和N型柱；刻蚀仅位于所述P型柱上的绝缘层形成欧姆接触窗口，在所述欧姆接触窗口内填充第一金属层，形成欧姆接触；刻蚀仅位于所述N型柱上的绝缘层形成肖特基接触窗口，在所述肖特基接触窗口内填充第二金属层，形成肖特基接触；所述第一金属层与所述第二金属层间设置有刻蚀后的所述绝缘层。