[发明专利]脆性材料基板的端材分离方法及端材分离装置

摘要

本发明涉及一种脆性材料基板的端材分离方法及端材分离装置，其课题在于准确地将沿纵向及横向整齐排列地形成有功能区域、且形成有划线的基板的周围的端材分离。本发明的解决方法为如下所述。将基板(20)保持在端材分离台(15)上。端材分离台(15)具有腔室(52)与其上部的底板(53)及弹性板(54)，且在弹性板(54)与底板(53)设置有多个开口。另外，通过从弹性板(54)的开口吸引空气而保持其上表面的基板(20)。通过使对向的边的高度相互不同的框状的推板(47)与基板(20)的面平行地下降，而使基板(20)的周围的端材分离。

主权项

1.一种脆性材料基板的端材分离方法，其是分离脆性材料基板的功能区域的周围的端材的端材分离方法，且所述脆性材料基板为切断之前的脆性材料基板，且：在其中一面具有沿纵向及横向以特定的间距形成的功能区域，且以所述功能区域位于中心的方式呈格子状形成有划线；且该脆性材料基板的端材分离方法为：将所述脆性材料基板保持在端材分离台上，该端材分离台在上表面具有相当于所述脆性材料基板的整个功能区域的形状的弹性板，自上部保持相当于所述脆性材料基板的整个功能区域的区域，通过使与所述脆性材料基板的端材的位置对应的框状推板从所述端材分离台的上部一面保持平行于脆性材料基板的状态一面下降而将端材分离，其中所述端材分离台包含：腔室，具有凹处；底板，设置在所述腔室上，且具有多个开口；及弹性板，设置在所述底板的上表面，其中所述弹性板为比位于所述基板的所应分离的端材的内侧的功能区域窄、且上表面的边缘弯曲的平板的板。