[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201510176810.7 | 申请日： | 2015-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN105038698A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 芹川雅之;诸江泰宏;水谷俊美;中岛丽子 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种研磨用组合物，在使用具有研磨垫的研磨装置研磨由硬脆材料形成的研磨对象物时，可以在150g/cm2以上的高研磨载荷(研磨压力)条件下以高研磨速度研磨由维氏硬度超过1500HV的硬脆材料形成的研磨对象物、且可以抑制该研磨对象物表面的损伤等缺陷的产生、研磨垫或保持夹具等的损伤的产生。一种研磨用组合物，其用于使用具有研磨垫的研磨装置以150g/cm2以上的研磨载荷研磨由维氏硬度超过1500HV的硬脆材料形成的研磨对象物的用途，所述研磨用组合物包含磨粒，和水，和吸附于前述研磨垫表面、降低前述研磨垫与前述研磨对象物之间不必要的摩擦阻力的添加剂。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其用于使用具有研磨垫的研磨装置以150g/cm2以上的研磨载荷研磨由维氏硬度超过1500HV的硬脆材料形成的研磨对象物的用途，所述研磨用组合物包含磨粒，和水，和吸附于所述研磨垫表面、降低所述研磨垫与所述研磨对象物之间不必要的摩擦阻力的添加剂。
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