[发明专利]一种具有双回滞特性的用于静电防护的可控硅在审
申请号: | 201510177637.2 | 申请日: | 2015-04-16 |
公开(公告)号: | CN104810393A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 董树荣;郭维;钟雷;曾杰;王炜槐;俞志辉 | 申请(专利权)人: | 江苏艾伦摩尔微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215300 江苏省苏州市昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有双回滞特性的用于静电防护的可控硅,包括P型衬底、N阱、P阱、P+注入区、N+注入区、多晶硅栅、浅槽隔离、阴极、阳极,所述N阱包括第一N阱、第二N阱,所述N+注入区包括第一N+注入区、第二N+注入区,所述P型衬底上沿横向依次设置有第一N阱、P阱、第二N阱;所述P+注入区设置在第一N阱上,所述第一N+注入区跨设在第一N阱和P阱上,所述第二N+注入区跨设在P阱和第二N阱上;所述多晶硅栅设置在P阱上;所述P+注入区、第一N+注入区均接入阳极,所述多晶硅栅和第二N+注入区均接入阴极。本发明实现双重回滞,从而具有触发电压低、维持电压高的特性,能够有效起到静电防护作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 双回滞 特性 用于 静电 防护 可控硅 | ||
【主权项】:
1.一种具有双回滞特性的用于静电防护的可控硅,包括P型衬底、N阱、P阱,其特征在于:还包括P+注入区、N+注入区、多晶硅栅、浅槽隔离、阴极、阳极,所述N阱包括第一N阱、第二N阱,所述N+注入区包括第一N+注入区、第二N+注入区,所述P型衬底上沿横向依次设置有第一N阱、P阱、第二N阱;所述P+注入区设置在第一N阱上,所述第一N+注入区跨设在第一N阱和P阱上,所述第二N+注入区跨设在P阱和第二N阱上;所述多晶硅栅设置在P阱上;所述P+注入区、第一N+注入区均接入阳极,所述多晶硅栅和第二N+注入区均接入阴极;所述P+注入区和外部结构之间通过浅槽隔离进行隔离,所述P+注入区和第一N+注入区之间通过浅槽隔离进行隔离,所述第二N+注入区和外部结构之间通过浅槽隔离进行隔离。
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