[发明专利]一种应力传感器、制备方法及电子皮肤

摘要

本发明涉及传感器技术领域，公开了一种应力传感器、制备方法及电子皮肤，所述应力传感器包括：介电层(1)，用于在外力作用下发生弹性形变；至少一个第一电极单元(2)，具有可拉伸性，设置于所述介电层(1)的上表面；以及至少一个第二电极单元(3)，具有可拉伸性，设置于所述介电层(1)的下表面；所述第一电极单元(2)与第二电极单元(3)相对交叉，形成电容器阵列；在外力作用下，对应的相对交叉处的垂直距离改变，使得对应电容器上的电容量变化。本发明应力传感器可准确检测电容量的变化量，检测精度高。

主权项

1.一种应力传感器，其特征在于，所述应力传感器包括：介电层(1)，用于在外力作用下发生弹性形变；至少一个第一电极单元(2)，具有可拉伸性，设置于所述介电层(1)的上表面；以及至少一个第二电极单元(3)，具有可拉伸性，设置于所述介电层(1)的下表面；所述第一电极单元(2)与第二电极单元(3)相对交叉，形成电容器阵列；在外力作用下，对应的相对交叉处的垂直距离改变，使得对应电容器上的电容量变化，所述第一电极单元(2)包括弯曲的第一导线(21)，且所述第一导线(21)上设有第一导电结点(22)；所述第二电极单元(3)包括弯曲的第二导线(31)，且所述第二导线(31)上设有第二导电结点(32)；所述第一导电结点(22)与第二导电结点(32)分别为对应电容器的上极板或下极板。