[发明专利]一种薄膜渗透仪及其测量方法

摘要

一种薄膜渗透仪及其测量方法属于化学工程技术领域，它涉及测量薄膜对气体渗透率的装置及其测量方法，本发明的目的是要解决现有测量薄膜对气体渗透率的方法存在漏放气和环境温度波动影响导致测量结果精确度低和测量过程复杂的问题，装置包括机械泵、分子泵、阀门、气源、加热带、真空计、高压腔、气体渗透单元、测量室、基准室、差压变送器，使用差压变送器记录测量室与基准室的压差随时间的变化规律，根据公式计算得出薄膜对气体的渗透率。本发明适用于精确测量薄膜对气体的渗透率，测量过程简单。

主权项

一种薄膜渗透仪，其特征在于一种薄膜渗透仪包括机械泵(1)、分子泵(2)、第一阀门(3)、气源(4)、第二阀门(5)、高压腔(6)、真空计(7)、气体渗透单元(8)、测量室(9)、差压变送器(10)、第三阀门(11)、加热带(12)、基准室(13)、第四阀门(14)；所述机械泵(1)与分子泵(2)为真空抽气机组；分子泵(2)通过第一阀门(3)与高压腔(6)连通；分子泵(2)通过第四阀门(14)与基准室(13)连通；气源(4)通过第二阀门(5)与高压腔(6)连通；测量室(9)通过第三阀门(11)与基准室(13)连通；气体渗透单元(8)将高压腔(6)与测量室(9)分隔；真空计(7)与高压腔(6)相连接；差压变送器(10)与测量室(9)和基准室(13)相连接；加热带(12)设置在测量室(9)和基准室(13)的外部。