[发明专利]栅控石墨烯纳米带阵列THz探测器及调谐方法有效
申请号: | 201510178299.4 | 申请日: | 2015-04-15 |
公开(公告)号: | CN104795411B | 公开(公告)日: | 2018-01-30 |
发明(设计)人: | 温中泉;张智海;袁伟青;陈李;陈刚 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | H01L27/144 | 分类号: | H01L27/144;H01L31/115;H01L31/028 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 400044 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及一种太赫兹探测器,更具体的说,本发明涉及一种栅控石墨烯纳米带阵列THz探测器及调谐方法探测器包括底栅极1和低阻硅衬底2以及设置于衬底上的双层石墨烯纳米带阵列3、源漏电极4和5、绝缘层6、顶栅极7‑9、驱动电路10;调谐方法是利用侧向限制与垂直电场作用下双层石墨烯的能隙双重调控机制,构建不同宽度的栅控双层石墨烯纳米带阵列,改变栅压,实现太赫兹波的分段同步扫描,达到宽带探测的目的;形成的太赫兹探测器及调谐方法具有灵敏度高、响应快、探测带宽大、调节灵活、结构简单、便于集成、体积小、可在室温下工作的优点,可广泛应用于安检、缉毒、反恐、医学成像、无损检测、电子对抗、雷达、遥感、外层空间宽带通信等领域。 | ||
搜索关键词: | 石墨 纳米 阵列 thz 探测器 调谐 方法 | ||
【主权项】:
栅控石墨烯纳米带阵列太赫兹探测器,其特征在于:包括底栅极和低阻硅衬底以及设置于衬底上的双层石墨烯纳米带阵列、源漏电极、绝缘层、顶栅极和驱动电路;所述石墨烯纳米带阵列由多个纳米带间隔排列组成,悬空在衬底上,并连通两端的源漏电极,所述顶栅极分为分别靠近源电极和漏电极的两条以及中间的一条,所述驱动电路按照事先计算好的电压施加在源漏电极、顶栅极和底栅极上,通过测量源漏间电流变化探测信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆大学,未经重庆大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510178299.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的