[发明专利]光学部件、其制造方法以及使用其的光学系统

摘要

本发明提供光学部件和该光学部件的制造方法，该光学部件能够在防止全反射条件下的雾化的同时维持高水平的减反射性。该光学部件包括依次层叠的基材；中间层；和氧化铝层，该氧化铝层有具有由氧化铝晶体制成的不规则结构的表面。该中间层包括相对于基材表面倾斜的多个柱状结构体，并且在该柱状结构体之间包括空隙。光学部件的制造方法包括通过倾斜沉积在基材表面上形成包括多个柱状结构体的中间层；和通过在该中间层上涂布含有铝化合物的溶液来形成膜并且对该膜进行热水处理以在该膜表面上形成氧化铝层，该氧化铝层具有由氧化铝晶体制成的不规则结构。

主权项

光学部件，包括：基材、氧化铝层、和中间层，设置在基材与氧化铝层之间，其中：该中间层包括空隙，和该氧化铝层有具有不规则结构的表面，该氧化铝层在形成含有铝的无定形层或含有氧化铝的无定形层后通过使含有铝的膜与热水或水蒸汽接触而形成。