[发明专利]一种镓掺杂氧化锌靶材的制造方法

摘要

本发明涉及一种镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，本发明中利用凝胶注模成型技术制造镓掺杂氧化锌靶材。通过混料制浆、固化干燥、生坯加工、脱脂、烧结、机加工等步骤制备出致密度在98%以上的镓掺杂氧化锌靶材。本发明的制备方法中省略了真空脱泡工艺，从而简化了现有凝胶注模技术工艺，降低了制造成本。

主权项

一种镓掺杂氧化锌靶材的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：A.制备原料粉体：将氧化锌粉体与氧化镓粉体混合，混合粉体中氧化锌粉体所占的质量份数为95%～99%，其余为氧化镓粉体，粉体纯度大于99.9%，粉体粒径0.01～300μm；B.制备预混液：将纯水、有机单体、交联剂以100：(5～15)：(1～2.5)的重量比例充分溶解组成预混液；C.制备高流动性浆料：将烧结后无残留的分散剂加入预混液，并调节PH值至9～11，通过注入球磨机进行球磨，使原料粉体分批次与预混液混合，随后得到粘度小于100mPa·s的高流动性浆料；D.制备素坯：将脱泡剂和引发剂加入高流动性浆料，在常压下进行机械搅拌，随后注入管状空腔模具，将注有浆料的模具放置于空气干燥箱中，升温以加速浆料交联固化，固化后脱模得到湿坯，将湿坯置于恒温恒湿条件进行干燥以得到素坯；E.素坯脱胶：将素坯在流通空气炉中加热进行脱胶，先将炉温升至200℃～400℃，并保温一段时间后，再次升温至400℃～650℃，并保温至脱胶完毕，上述升温速度不高于1℃/min，随后待空气炉冷却至室温；F.烧结：将脱胶后的素坯放置于流通空气炉中进行烧结，先将炉温升至700℃～900℃，并保温一段时间后，再次升温至1350℃～1500℃，并保温至烧结完毕，上述升温速度不高于1℃/min，随后待空气炉冷却至室温，得到相对密度大于98％的镓掺杂氧化锌靶材。