[发明专利]无模板制备大比表面积纳米银颗粒膜复合材料的方法有效
| 申请号： | 201510182370.6 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN104818464B | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 孙浩亮;何孟杰;宋忠孝;逯峙;李新利;刘玉亮 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 无模板制备大比表面积纳米银颗粒膜复合材料的方法，首先在玻璃基体表面制备银‑锆合金膜，并使基体保持一定温度以使银原子在合金膜表面生长为银颗粒即制得产品。本发明采用磁控溅射双靶共沉积制备银合金薄膜及基体原位加热技术，实现了无需模板制备出大比表面积纳米银薄膜/银颗粒复合结构材料，该复合结构材料中的银薄膜厚度、银颗粒尺度在微纳尺度范围内均可以调控，无需采用模板，成本低，绿色环保，易于在玻璃基体上无需模板制备出大面积、高性能纳米银颗粒膜复合材料，较之纯银薄膜比表面积可增大20%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 制备 表面积 纳米 颗粒 复合材料 方法 | ||
【主权项】：
无模板制备大比表面积纳米银颗粒膜复合材料的方法，其特征在于：首先在玻璃基体表面制备银‑锆合金膜，并保持该温度以使银原子生长为银颗粒即制得产品；所述在玻璃基体表面制备银‑锆合金膜的步骤如下：1）将玻璃基体清洗干净后置于磁控溅射镀膜机基片台上；2）在镀膜机的靶位上分别放置好Ag靶和Zr靶，然后关闭真空室、开启机械泵和分子泵对真空室抽真空，使真空度达到0.0001‑0.0005Pa，而后再对基片台进行加热，加热温度200℃～330℃；3）向真空室通入高纯氩气使真空室内的气压为0.2‑0.8Pa，然后同时接通Ag靶和Zr靶的电源在玻璃基体上共溅射沉积Ag‑Zr合金薄膜；4）Ag‑Zr合金薄膜沉积完成后，继续对基片台保温30‑100min，以使Ag‑Zr合金薄膜中的Ag原子在薄膜表面析出、形核、生长成为不同尺度的Ag颗粒。
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