[发明专利]一种微纳结构制造装置与方法有效
| 申请号： | 201510184053.8 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN104803345B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 房飞宇;陈新;王晗;陈新度;刘强;吕元俊;李克天 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳结构制造装置与方法，该装置包括控制系统，供热源，接收基板，热电材料，挤出基板，输液装置。微纳结构制造方法，步骤为1）将图形结构转换为轮廓数据和填充数据；2）流动态聚合物材料在感生电场的作用下，流变拉伸，形成泰勒锥；3）实现掩膜的制作；4）形成覆膜；5）在覆膜上形成所需几何图形结构的凹槽；6）实现基材的刻蚀；7）去除覆膜。本发明的微纳结构制造方法，可以避免传统近场电纺直写技术的相关缺点，本发明的微纳结构制造方法，不涉及化学腐蚀过程，工艺绿色简单且成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳结构制造装置，其特征在于：包括控制系统，供热源，接收基板，热电材料，挤出基板，输液装置；其中，控制系统分别与供热源、接收基板、挤出基板、输液装置相连；供热源用于向热电材料提供热辐射以产生感生电场；输液装置与挤出基板相连，用以向挤出基板提供流动态聚合物材料；挤出基板用于向接收基板输出流动态聚合物材料。
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