[发明专利]一种探针的制备方法及制备装置有效
| 申请号： | 201510186082.8 | 申请日： | 2015-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN104785871B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张旻;易振东 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 余敏 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针的制备方法及制备装置，制备方法包括1)将金属丝浸入电腐蚀溶液中；其中，所述电腐蚀溶液装在石墨材料制成的容器中，或者所述电腐蚀溶液中放置有环绕所述金属丝的圆筒状石墨电极，所述石墨电极高出液面；其中，石墨容器或者圆筒状石墨电极的直径为20～75mm；2)在所述金属丝和所述容器之间，或者在所述金属丝和所述圆筒状石墨电极之间按照如下方式施加电压先施加30～45V的第一正弦交流电压，施加时间确保所述金属丝浸入液面下的部分的腐蚀速度为1/30～1/20mm/s；然后施加15～25V的第二正弦交流电压，施加时间直至腐蚀反应结束；3)提拉金属丝脱离液面，完成探针的制备。本发明制得的探针的形貌为圆柱状，尺寸在亚微米级，且具有较大的长径比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种探针的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：1)将金属丝浸入电腐蚀溶液中；其中，所述电腐蚀溶液装在石墨材料制成的容器中，或者所述电腐蚀溶液中放置有环绕所述金属丝的圆筒状石墨电极，所述石墨电极高出液面；其中，所述石墨材料制成的容器的直径或者所述圆筒状的石墨电极的直径为20～75mm；2)在所述金属丝和所述容器之间，或者在所述金属丝和所述圆筒状石墨电极之间按照如下方式施加电压：先施加30～45V的第一正弦交流电压，施加时间确保所述金属丝浸入液面下的部分的腐蚀速度为1/30～1/20mm/s；然后施加15～25V的第二正弦交流电压，施加时间直至腐蚀反应结束；3)将处理后的所述金属丝提拉脱离液面，完成探针的制备。
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