[发明专利]改良电容式指纹感测单元、获取指纹的方法以及指纹传感器

摘要

本发明提供一种改良电容式指纹感测单元、获取指纹的方法及指纹传感器。该改良电容式指纹感测单元包括基底架构与指纹感测架构。指纹感测架构具有第一金属间介电层、第二金属层、第二金属间介电层、第三金属层与钝化层。通过连接第三金属层到瞬时电压抑制装置，可获得防静电放电功效。通过增加第一金属间介电层与第二金属间介电层的厚度，改良电容式指纹感测单元的灵敏度可获得改善。

主权项

1.一种改良电容式指纹感测单元，其特征在于，包含：基底架构，具有至少一个第一金属层并形成充电电路与操作电路，用以交替地接收充电电压，及分派来自所述充电电路的电荷到所述操作电路的电容中并同时停止接收所述充电电压；以及指纹感测架构，设置在所述基底架构上，包含：第一金属间介电层，具有第一深度，所述第一深度大于3μm；第二金属层，设置在所述第一金属间介电层上，且形成感应金属板；第二金属间介电层，设置在所述第二金属层上且环绕所述第二金属层，覆盖所述感应金属板并具有第二深度，所述第二深度大于3μm；第三金属层，设置在所述第二金属间介电层上，通过位于所述感应金属板上的开口形成方形格子，并连接至瞬时电压抑制器装置，用于接收第一电压与第二电压；以及钝化层，覆盖所述第三金属层；其中，触发所述瞬时电压抑制装置的限界电压值比所述第一电压和/或所述第二电压高；所述基底架构分派来自所述充电电路的电荷到所述指纹感测架构的电容中，并同时停止接收所述充电电压。