[发明专利]形成金属导线的方法在审
申请号: | 201510187237.X | 申请日: | 2015-04-20 |
公开(公告)号: | CN105039939A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 钟显政;谢育材 | 申请(专利权)人: | 达兴材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/18 | 分类号: | C23C18/18;G06F3/041 |
代理公司: | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人: | 张平元 |
地址: | 中国台湾台中市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种形成金属导线的方法,包括下列步骤。将感光性组合物涂布于基底;使该基底上的该感光性组合物进行光照射硬化,形成含有催化剂图案的膜层;再施以无电电镀法以形成金属导线;其中该感光性组合物包括醋酸钯、低反射率材料、光引发剂、光可聚合单体和/或寡聚物,以及溶剂;且该光可聚合单体和/或寡聚物包括以下两种成分:N-乙烯吡咯烷酮,以及N-乙烯吡咯烷酮以外的光可聚合单体和/或寡聚物。 | ||
搜索关键词: | 形成 金属 导线 方法 | ||
【主权项】:
一种形成金属导线的方法,包括将感光性组合物涂布于基底;使该基底上的该感光性组合物进行光硬化,形成含有催化剂图案的膜层;再施以无电电镀法以形成金属导线;其中该感光性组合物包括醋酸钯、低反射率材料、光引发剂、光可聚合单体和/或寡聚物,和溶剂,且该光可聚合单体和/或寡聚物包括:N‑乙烯吡咯烷酮,以及N‑乙烯吡咯烷酮以外的光可聚合单体和/或寡聚物。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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