[发明专利]局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法

摘要

本发明提供一种局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法，方法包括提供局域供碳装置；制备镍铜合金衬底，将镍铜合金衬底置于局域供碳装置内；将放置有镍铜合金衬底的局域供碳装置置于化学气相沉积系统的腔室中，在局域供碳装置中通入气态碳源，从而在镍铜合金衬底上生长石墨烯单晶。本发明制备得到的石墨烯晶畴结晶性好，制备条件简单、成本低，生长所需条件参数的窗口较宽、重复性好，为晶圆级石墨烯单晶在石墨烯器件等领域的广泛应用打下了基础。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

主权项

一种局域供碳装置，其特征在于，所述局域供碳装置包括：第一基片、第二基片及支撑单元；所述第一基片与第二基片上下对应分布；所述支撑单元为垫片，所述垫片依据所述第一基片及所述第二基片的四个顶角间隔分布于所述第一基片与所述第二基片之间，所述支撑单元适于支撑所述第一基片及第二基片，且使所述第一基片及第二基片保持一定的间距；所述第一基片或第二基片上设有通孔，所述通孔位于所述第一基片或所述第二基片的中心。