[发明专利]硬脆材料的激光钻孔方法有效
| 申请号： | 201510190280.1 | 申请日： | 2015-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN104741799B | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 苑学瑞;卢建刚;尹建刚;高昆;唐建刚;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/362 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司44360 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于激光钻孔领域，提供了一种硬脆材料的激光钻孔方法，利用超快激光采用背蚀的方式进行钻孔，其中激光聚焦的透镜的焦距≤80mm，激光聚焦前的入射光直径≥4mm，本发明实施例提供的激光钻孔方法，通过短焦深的超快激光加工硬脆材料，不仅避免了热效应对材料的影响，同时防止材料的正面吸收大量的能量产生正面烧蚀，实现了小锥度和光滑壁面的通孔加工。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 激光 钻孔 方法 | ||
【主权项】：
一种硬脆材料的激光钻孔方法，其特征在于，利用超快激光采用背蚀的方式进行钻孔，所述超快激光为皮秒红外激光或皮秒绿激光或飞秒红外激光，其中所述硬脆材料为0.5mm厚的康宁玻璃，所述入射光直径等于10mm，所述焦距为60mm，激光在硬脆材料的加工处的能量密度为2J/cm2，激光通过远心场镜聚焦在所述硬脆材料的背面，通过逐渐提升焦点位置实现钻孔。
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