[发明专利]大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法有效
| 申请号： | 201510190510.4 | 申请日： | 2015-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN104749673B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 张善文;卢禹先;齐向东;李晓天;于海利;于宏柱;巴音贺希格;唐玉国;吉日嘎兰图 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙)22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法，涉及衍射光栅制作技术领域，解决现有光栅拼接方法需要重复和持续采用高精度控制调整技术，对支架稳定性要求高，并且采用曝光方法时存在调整与锁定系统之间存在漂移误差等问题，利用一块光栅母版，在光栅毛坯的相邻区域分时复制两次；在光栅毛坯的左侧区域复制第一块光栅；在光栅毛坯左侧区域相邻的右侧区域复制第二块光栅；其中，拼接误差检测系统，检测第二块复制光栅和第一块复制光栅存在的拼接误差；误差检测系统检测第二块复制光栅拼接时的两维拼接误差。本发明光栅在使用过程中不需要多维机械调整架实时调整光栅姿态，具有长期保存性；拼接过程中只需要检测存在的两维拼接误差，降低检测和调整的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸 平面 衍射 光栅 复制 拼接 方法 | ||
【主权项】：
大尺寸平面衍射光栅的复制拼接方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、采用一块光栅母版(2)，在光栅毛坯(3)的相邻区域分时复制两次；步骤二、在步骤一中所述的光栅毛坯(3)的左侧区域复制第一块光栅，第一块光栅复制中利用环氧树脂胶为粘合剂，所述环氧树脂胶固化后，分离第一块光栅复制中的所述光栅毛坯(3)和光栅母版(2)，在所述光栅毛坯(3)的左侧区域形成第一块复制光栅(4)；步骤三、在与所述光栅毛坯(3)左侧区域相邻的右侧区域复制第二块光栅，第二块光栅复制中检测第二块复制光栅(5)和第一块复制光栅(4)存在的拼接误差，调整拼接误差及环氧树脂胶固化后，分离第二块光栅复制中的所述光栅母版(2)和光栅毛坯(3)，在所述光栅毛坯(3)的右侧区域形成第二块复制光栅(5)；其中，步骤三中，通过误差检测系统，检测第二块复制光栅(5)和第一块复制光栅(4)存在的拼接误差；所述误差检测系统检测第二块复制光栅(5)相对于第一块复制光栅(4)存在的两维拼接误差；其余三维误差的消除包括：第一块光栅复制时通过夹具固定，使所述光栅毛坯(3)和光栅母版(2)的侧面在同一平面上，记录所述环氧树脂胶质量和所述光栅母版(2)上所加的配重块质量及配重块的配重点，第二块光栅复制时使用与第一块光栅复制时相同的配重点、相同的配重块质量和相同质量的环氧树脂胶。
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