[发明专利]一种半导体流程菜单的自动生成装置及方法在审
申请号: | 201510194892.8 | 申请日: | 2015-04-22 |
公开(公告)号: | CN106155671A | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 詹祥宇 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | G06F9/44 | 分类号: | G06F9/44 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李相雨 |
地址: | 100871 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体流程菜单的自动生成装置及方法,该方法包括:接收用户选择的半导体产品的工艺流程的指令;根据所述指令向用户发送输入所述工艺流程预设参数的对话框;接收用户在对话框中输入的预设参数,生成并保存与所述预设参数相对应的工艺流程。该方法通过接收用户选择的工艺流程指令,根据该指令向用户发送输入工艺流程预设参数的对话框,接收用户在对话框中输入端预设参数,生成并保存工艺流程,该方法减少工艺流程设置工作量,提高了更新或者更换菜单的效率,具有实时性高,操作简便,实用性强等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 流程 菜单 自动 生成 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体流程菜单的自动生成方法,其特征在于,包括:接收用户选择的半导体产品的工艺流程的指令;根据所述指令向用户发送输入所述工艺流程预设参数的对话框;接收用户在对话框中输入的预设参数,生成并保存与所述预设参数相对应的工艺流程。
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