[发明专利]一种基于单光束时空特性调节的激光加工头有效

专利信息
申请号: 201510195608.9 申请日: 2015-04-17
公开(公告)号: CN104816087B 公开(公告)日: 2016-11-30
发明(设计)人: 曹宇;李春林;魏鑫磊;何安;张健;朱德华;冯爱新 申请(专利权)人: 温州大学
主分类号: B23K26/067 分类号: B23K26/067;B23K26/064;B23K26/382;B23K26/0622
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 325000 浙江省温州市瓯海经济开发*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种基于单光束时空特性调节的激光加工头,包括分束镜片、环形光路系统和中心光路系统;环形光路系统包括第一平面反射镜、锥透镜组和聚焦物镜,中心光路系统包括第二平面反射镜和第三平面反射镜;经分束镜片分束后的第一束激光束经第一平面反射镜的反射后,入射至锥透镜组,锥透镜组产生非衍射环形光束输出至聚焦物镜,聚焦物镜将非衍射环形光束聚焦后的细环形焦斑输出至工件的表面;经分束镜片分束后的第二束激光束经第二平面反射镜和第三平面反射镜的反射后,入射至聚焦物镜,聚焦物镜将激光束聚焦后输出中心细圆斑在工件的表面。采用本发明所述的激光加工头进行激光打孔时,能保证良好的圆环精度,减小热影响区,提升孔边质量。
搜索关键词: 一种 基于 光束 时空 特性 调节 激光 工头
【主权项】:
一种基于单光束时空特性调节的激光加工头,其特征在于,包括分束镜片(1)、环形光路系统和中心光路系统;入射激光束(10)经分束镜片(1)分束后,将单个激光束分成两束,其中一束经分束镜片(1)反射后入射至环形光路系统,另外一路经分束镜片(1)透射后入射至中心光路系统;所述环形光路系统包括第一平面反射镜(6)、锥透镜组(3)和聚焦物镜(4),第一平面反射镜(6)、锥透镜组(3)和聚焦物镜(4)的光轴在同一直线上;经分束镜片(1)分束后的第一束激光束经第一平面反射镜(6)的反射后,入射至锥透镜组(3),锥透镜组(3)产生非衍射环形光束并输出至聚焦物镜(4),聚焦物镜(4)将非衍射环形光束聚焦后的细环形焦斑输出至工件(9)的表面;所述中心光路系统包括第二平面反射镜(7)和第三平面反射镜(8);分束镜片(1)的光轴与第二平面反射镜(7)的光轴在同一直线上,均与入射激光束(10)的方向相同;经分束镜片(1)分束后的第二束激光束入射至第二平面反射镜(7),经第二平面反射镜(7)反射后,入射至第三平面反射镜(8),经第三平面反射镜(8)反射后,入射至聚焦物镜(4),聚焦物镜(4)将激光束聚焦后输出中心细圆斑在工件(9)的表面;所述中心细圆斑所在的位置位于环形光路系统输出的细环形焦斑的中心。
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