[发明专利]MEMS开关有效
| 申请号： | 201510198260.9 | 申请日： | 2015-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN105047484B | 公开（公告）日： | 2018-12-14 |
| 发明（设计）人： | P·L·菲兹格拉德;J-E·王;R·C·格金;B·P·斯坦森;P·拉姆博肯;M·舍默尔 | 申请（专利权）人： | 亚德诺半导体集团 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 百慕大群岛(*** | 国省代码： | 百慕大群岛;BM |
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| 摘要： | 本公开涉及MEMS开关。公布了改进MEMS开关操作性能的几种特征，使得它们呈现出改进的在役寿命和开关打开与关闭的更好控制。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS元件，包括：衬底；支撑体；可移动结构；控制电极；以及所述支撑体从所述衬底延伸并保持邻近所述衬底的可移动结构的部分，并且所述可移动结构与所述控制电极重叠，其中，所述可移动结构由边缘限定，并且所述控制电极延伸过所述可移动结构的边缘，其中所述可移动结构具有在支撑体远侧的端壁，并且控制电极延伸超过端壁，但不在所述可移动结构的触点载体部分的区域内，其中所述触点载体部分携带触点，并且所述触点载体部分的长度和所述触点的高度中的一个或两个被选择以将来自临近所述控制电极的边缘的捕获电荷的力减少到低于阈值。
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