[发明专利]影像感应器

摘要

本发明公开一种影像感应器，包含有一半导体基底，其具有一主表面；至少一感光结构，设于该主表面；一内层介电层，覆盖于该感光结构上；以及一介电层堆叠结构，介于该内层介电层与该感光结构之间，其中该介电层堆叠结构包括一硅化金属阻挡层，具有第一折射率n1、一保护层，具有第二折射率n2，以及一接触蚀刻停止层，具有第三折射率n3，第二折射率n2小于或等于第三折射率n3，第三折射率n3与第二折射率n2之间的差小于或等于0.25，第三折射率n3与第一折射率n1之间的差小于或等于0.7。

主权项

1.一种影像感应器，包含有：半导体基底，其具有一主表面；至少一感光结构，设于该主表面；内层介电层，覆盖于该感光结构上；以及介电层堆叠结构，介于该内层介电层与该感光结构之间，其中该介电层堆叠结构由下至上依序包括由二氧化硅所构成的硅化金属阻挡层、由氮化硅所构成的保护层以及由氮氧化硅所构成的接触蚀刻停止层，其中，该内层介电层与该接触蚀刻停止层直接接触，其中该硅化金属阻挡层具有第一折射率n1，该接触蚀刻停止层具有第二折射率n2，该保护层具有第三折射率n3，且该第二折射率n2小于或等于该第三折射率n3。