[发明专利]使用模型确定等离子体系统的RF传输系统中故障的位置有效
| 申请号： | 201510198711.9 | 申请日： | 2015-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN105006419B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 樊英如,李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及使用模型确定在等离子体系统的RF传输系统的故障的位置。用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法包括表征RF传输系统以及选择所述RF传输系统的区段中的一个作为初始选定区段。可以在所表征的所述RF传输系统中测量所述初始选定区段的输出。传播所述初始选定区段的所测得的所述输出通过基线RF模型以及在所述RF传输系统的所产生的RF模型中确定偏转点。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 模型 确定 等离子体 系统 rf 传输 故障 位置 | ||
【主权项】：
一种用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法，其包括：表征具有多个区段的所述RF传输系统；从所述RF传输系统的所述多个区段选择作为初始选定区段的区段；测量在所表征的所述RF传输系统中的所述初始选定区段的输出；传播所述初始选定区段的所测得的所述输出通过基线RF模型，其中所述基线RF模型是基于在所述RF传输线中定义的电路部件的；确定在所述RF传输系统的所产生的RF模型中的偏转点；以及指出对应于所述偏转点的故障区段。
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