[发明专利]平行度调节装置及CVD生长膜装置有效
| 申请号： | 201510202608.7 | 申请日： | 2015-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN104900473B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 梅艳慧;林继柱;温振兴 | 申请（专利权）人： | 北京精诚铂阳光电设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 赵囡囡,吴贵明 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平行度调节装置及CVD生长膜装置。该平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体和第二板体之间的平行度，平行度调节装置包括安装部；多个调节部，多个调节部安装在安装部上，各调节部均包括驱动组件和执行组件，执行组件包括执行件，执行件的第一端连接在第一板体的远离或靠近第二板体的侧面上，驱动组件驱动执行组件沿远离或靠近第二板体的方向运动。本发明的平行度调节装置及CVD生长膜装置的结构简单，便于提高大面积的CVD设备的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 调节 装置 cvd 生长 | ||
【主权项】：
一种平行度调节装置，其特征在于，所述平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体(100)和第二板体之间的平行度，所述平行度调节装置包括：安装部(10)；多个调节部(20)，所述多个调节部(20)安装在所述安装部(10)上，各所述调节部(20)均包括驱动组件(21)和执行组件(22)，所述执行组件(22)包括执行件(221)，所述执行件(221)的第一端连接在所述第一板体(100)的远离或靠近所述第二板体的侧面上，所述驱动组件(21)驱动所述执行组件(22)沿远离或靠近所述第二板体的方向运动；所述平行度调节装置还包括间隔设置的多个接近开关，所述接近开关设置在所述第一板体(100)或第二板体上。
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